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日本ARK半導體晶圓周邊曝光UV-LED光源

日本ARK半導體晶圓周邊曝光UV-LED光源
這款產品專門用于半導體晶圓周邊曝光,支持g線和i線光刻膠。

  • 產品型號:EW01S
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-10-23
  • 訪  問  量:30
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詳細介紹

日本ARK半導體晶圓周邊曝光UV-LED光源
日本ARK半導體晶圓周邊曝光UV-LED光源

這款產品專門用于半導體晶圓周邊曝光,支持g線和i線光刻膠。以下是該產品的詳細信息:

產品特點

  • 適用于新設備安裝以及替換現有的UV燈源。
  • 采用UV-LED技術,有助于減少能耗、環境負荷、光源壽命延長,且無需機械相關的消耗部件,從而顯著降低運行成本。

規格

  • 使用環境溫度:5~40℃(無結露)
  • 電源電壓:單相 100~240V
  • 電源頻率:50/60Hz
  • 發光峰值波長:365±5nm
  • 光輸出穩定性:±5%以內
  • 初始紫外線強度:2000mw/cm2以上(在365nm波長下,距離掩模0.5mm處)
  • 強度分布均勻性:4×5mm區域內10%以下
  • 紫外線發光源:UV-LED
  • 紫外線發光源壽命:20000小時(預計壽命,在驅動電流最大時)
  • 照射ON/OFF功能:UV-LED的ON/OFF控制(可通過遠程和手動控制進行點亮/熄滅)
  • 光量調整功能:通過調整UV-LED電流,光量調整范圍為20~100%
  • 外殼材質:不銹鋼
  • 外形尺寸:150(W) × 200(D) × 192(H) mm
EW01S是一款高效、節能且環保的UV-LED光源,適用于半導體制造過程中的晶圓周邊曝光,能夠滿足高精度和高效率的生產需求。
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