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美國Entegris液體流量控制器耐腐蝕高精度 Entegris 6500/6550型適用于高純度應用的 PTFE 潤濕表面耐腐蝕非金屬零件內置壓力傳感器提供額外的過程信息精確至滿量程的 1%，非常適合分配關鍵化學品緊湊的設計可以在有限的空間內輕松安裝高精度分配流量和快速響應
產品型號：6500/6550型廠商性質：經銷商更新時間：2025-05-06訪 問 量：739
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美國Entegris液體流量控制器耐腐蝕高精度 Entegris 6500/6550型 特點介紹
6500型
適用于高純度應用的 PTFE 潤濕表面
耐腐蝕非金屬零件
內置壓力傳感器提供額外的過程信息
精確至滿量程的 1%，非常適合分配關鍵化學品
緊湊的設計可以在有限的空間內輕松安裝
高精度分配流量和快速響應
6550型
采用經過驗證的可靠差壓流量測量技術和先進的閉環過程控制技術
使用視覺指示器診斷預防性維護、故障排除和警報狀況
集成壓力傳感器提供詳細的壓力信息
使用氣泡生成介質實現的測量和控制
穩健的設計確保穩定性和長期可靠性
設計用于 60、90 或 120 L/min 流量
美國Entegris液體流量控制器耐腐蝕高精度 Entegris 6500/6550 規格參數
過程溫度 10-65℃
電源 24 伏直流 (± 10%) @ 1 安
電力輸出 兩個電氣隔離輸出（4 至 20 mA），用于流量測量和壓力測量
流量測量 20 至 100% 流量范圍內為滿量程的 ± 1%
流量范圍為 10 至 20% 時為滿量程 ± 2.5%
（使用 23 °C 純水校準）
重復性 20 至 100% 流量范圍時，滿量程的 ± 0.5%
對于 10 至 20% 流量范圍，滿量程的 ± 1%
壓力測量范圍 0至414kPa
最小工作壓力（入口） 69kPa
最大工作壓力 414千帕
超壓極限 690千帕
壓力測量精度 滿量程的 ± 1%（包括線性度、遲滯性和重復性的綜合影響）
電氣設備外殼標準 IP54
可靠性 接液部件，超過300萬次
響應時間 3 秒內從 10% 升至 95% 全量程
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