日本進口e-yamato超高純度減壓閥壓力調節器 SRQ-1HL/SRQ-1HLP 特點介紹

高輔度氣體（純度99.999~99.99999%的供應。

消除了滑動部，抑制了顆粒的產生。采用波形隔膜，實現壓力高靈敏度。

外部硅片采用奧甲基硅片。

可作為經濟產業大臣認證品生產。在高壓氣體設備中使用時，請選擇合格品。

可在環境溫度150°C下使用的壓力調節器。

調壓螺釘型和雙螺桿型產品線齊全。

進出口VCR。2術一卜。恒溫室使用。

注意:不能用于腐蝕性氣體。

日本進口e-yamato超高純度減壓閥壓力調節器 SRQ-1HL/SRQ-1HLP 規格參數

SRQ-1HL（高溫型）

SRQ-1HLP（高溫型）

一次側壓力（MPa）

1~20

1~20

二次側使用壓力（MPa）

0.1~0.99

控制壓力（MPa）

0.1~0.99

使用溫度（度C）

-20~150（設計溫度:-20~150攝氏度）徑

1/4

外部響應量（Pam/sec）

螺紋接縫:1.01x10-8以下焊接統:1.01x-10-以下

接氣主本體

SUS316L

要部材質科脫明

材餐記號隔膜

SUS316L井材

PI

PI

是P.476其他

SUS316L

菲爾克薩斯40μm

量(kg)

1.1

1.1

標凖流量

2/mininer.Ne值）

160(P=15MPa.Pz=0.99MPa)

160(P)=3MPa.Pe=0.99MPa)

最大流量

2/minior.N情）

200(P1=15MPa.P2=0.99MPa)

200(P)=3MPa.Pe=0.99MPa)