日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 特點介紹

L62系列是專為高壓、大流量半導體工藝生產氣體設計的產品，其基本結構為外部金屬密封和焊接接頭，具有優異的外泄漏和顆粒性能。該產品增加了流量，是氣瓶柜的理想選擇。

我們的L61系列的針結構類型（面對面尺寸相同）。

可根據使用氣體選擇閥座材料。

日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 規格參數

適用氣體 高純氣體 

入口壓力 14.8MPa以下（最大19.6MPa） 

調節壓力 Max.0.8MPa

（范圍規格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa） 

氣源壓力波動 進口壓力：每0.1MPa，調節壓力變化0.001MPa以下 

承受壓力 22.2MPa（進口壓力） 

CV值 0.11 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內部容積 32.3cm（不含3個壓力表及接頭） 

大量的 約4.7公斤 

■ 類型：L62 SS-CO 是專門針對一氧化碳（CO）氣體而選擇的材料。

請不要與其他氣體一起使用。

■ 類型：L62 SS-I 是使用氦氣 (He) 或氫氣 (H2) 時的理想選擇。